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場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8200

編輯: | 2021年09月27日 | 材料表征

Regulus系列"是日立高新技術(shù)的FE-SEM的全新品牌,包括作為SU8010的后續(xù)機(jī)型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級(jí) "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240",共4個(gè)機(jī)型,均實(shí)現(xiàn)了分辨率和操作性的強(qiáng)化。


       掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù),半導(dǎo)體?電子行業(yè),生命科學(xué),材料科學(xué)等領(lǐng)域的材料結(jié)構(gòu)觀察。近年來,新一代的電子器件應(yīng)用中受到廣泛期待的新型碳材料,高分子材料,復(fù)合材料等的研究作為先進(jìn)科學(xué)技術(shù)的中堅(jiān)技術(shù),在全世界范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評(píng)價(jià),但僅僅具有超高分辨率還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。還要求能在低加速電壓下對(duì)表面細(xì)微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外,在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。


       本次發(fā)布的新品牌 "Regulus系列" 電子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行了最優(yōu)化處理,使得著陸電壓在1kV時(shí)分辨率較前代機(jī)型提高了約20%。"Regulus8220/8230/8240"達(dá)到0.9nm,"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外,最適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場(chǎng)電子槍可將樣品的細(xì)節(jié)放大,并獲得高質(zhì)量的圖片。最大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。
除此之外,為了能更好的應(yīng)對(duì)不同樣品的測(cè)試和保持并發(fā)揮出高性能,還對(duì)用戶輔助工能進(jìn)行了強(qiáng)化,如信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)的操作輔助功能,維護(hù)輔助功能等。

主要特點(diǎn)

  1. 搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場(chǎng)電子槍

  2. 跟前代機(jī)型相比分辨率大約提高了20%
    (Regulus8220/8230/8240:0.9 nm/1 kV,Regulus8100:1.1 nm/1 kV)

  3. 最大倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1

  4. 用戶輔助功能,幫助用戶把儀器的高性能完全發(fā)揮出來

主要參數(shù)

名稱 Regulus8100 Regulus8240/8230/8220
二次電子分辨率 0.8 nm(加速電壓 15 kV)
1.1 nm(著陸電壓 1 kV)*2
0.7 nm(加速電壓 15 kV)
0.9 nm(著陸電壓 1 kV)*2
加速電壓 0.5~30 kV 0.5~30 kV
著陸電壓*2 0.1~2 kV 0.01~20 kV
倍率 20~1,000,000倍*3 20~2,000,000倍*3
馬達(dá)臺(tái)控制 3軸自動(dòng)*4 5軸自動(dòng)

*1   僅限 Regulus8240/8230/8220

*2   減速模式觀察

*3   127 mm × 95 mm 視野的畫面倍率

*4   5軸馬達(dá)臺(tái)為選配項(xiàng)